SUMINISTRO INSTALACION Y PUESTA EN MARCHA DE UN SISTEMA DE DEPOSICION DE PELICULAS DELGADAS POR EVAPORACION TERMICA Y SPUTTERING MAGNETRON RF/DC PARA LA SALA LIMPIA DE NANOELECTRONICA DEL CITIC-UGR (UGR/2026/0029)

El contrato implica el suministro, la instalación y la puesta en marcha de un sistema de deposición de película delgada para evaporación térmica y pulverización magnetrón RF/DC. Este sistema está destinado a la Sala Blanca de Nanoelectrónica en el CITIC-UGR. El equipo debe permitir la deposición de películas delgadas con un control preciso sobre el proceso y los materiales, mejorando las capacidades de investigación de la instalación.

El contrato requiere el suministro de un sistema totalmente integrado, que incluye:

• Un marco y una carcasa.
• Una cámara de vacío y accesorios.
• Un sistema de bombeo (alto vacío + prevacío seco).
• Válvulas y control de presión.
• Equipo de pulverización (magnetrones + potencia RF + conmutación RF/DC).
• Equipo de evaporación térmica (fuente + potencia + obturador).
• Sistema de entrada y control de gas (MFC y válvulas solenoides).
• Microbalanza de cristal de cuarzo para la medición del espesor.
• Soporte de sustrato calentado y rotatorio.
• Gabinete eléctrico, PLC/PC industrial, HMI táctil y software.
• Documentación y declaración CE.
• Instalación, configuración y formación.

Requisitos Técnicos Clave:

• El sistema debe ser capaz de alcanzar una presió...

Se prevé que la ejecución comience después de que se formalice el contrato.

El plazo máximo de ejecución es de 6 meses.

El equipo se instalará en el Laboratorio de Nanoelectrónica del CITIC-UGR, ubicado en la Calle del Periodista Rafael Gómez Montero, 2, 18014 Granada, España. (Provincia: Granada)