SUMINISTRO DE UN SISTEMA DE PROCESADO TERMICO RAPIDO DE ALTA TEMPERATURA (RAPID THERMAL PROCESSING RTP) PARA EL INSTITUTO DE SISTEMAS OPTOELECTRONICOS Y MICROTECNOLOGIA (ISOM) DE LA UNIVERSIDAD POLITECNICA DE MADRID. (SUM-18/26 OTT)

Contratación del suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un sistema de procesado térmico rápido de alta temperatura (Rapid Thermal Processing, RTP) para el Instituto de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología (ISOM) de la Universidad Politécnica de Madrid. El sistema está destinado a la investigación y desarrollo en micro y nanotecnología, incluyendo procesos como annealing de contactos, activación de dopantes, oxidación térmica rápida (RTO), nitruración (RTN), difusión y cristalización de materiales.

El sistema a suministrar debe ser un equipo de alta precisión para tratamientos térmicos controlados en dispositivos y estructuras micro y nanométricas. Debe integrar un sistema de calentamiento por lámparas de alta potencia (mínimo 50 kW) con control avanzado multi-zona (mínimo 4 zonas), con control de potencia real y rápido tiempo de respuesta. El rango térmico debe ser desde temperatura ambiente hasta al menos 1300 °C, con una velocidad de rampa térmica máxima de ≥ 150 °C/s y reproducibilidad térmica de ±1 °C. La cámara de proceso será de tipo "cold-wall" refrigerada por agua, de bajo volumen, y fabricada en acero inoxidable de alta pureza. Incluirá control de temperatura mediante pirómetro óptico sin contacto y termopar tipo K, con controlador digital PID rápido y capacidad de control ...

Fecha de firma del contrato

Desde la formalización del contrato hasta el 30 de junio de 2026.

Laboratorios del Instituto de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología (ISOM), dentro de la sala limpia. Planta baja del edificio C de la ETSI Telecomunicación de la U.P.M., Avenida Complutense, 30, 28040-Madrid, España. (Provincia: Madrid)