SUMINISTRO DE MICROSCOPIO ELECTRONICO DE DOBLE HAZ CON DETECTOR EBSD Y SISTEMAS DE NANOLITOGRAFIA ELECTRONICA (EBL) Y DE IONES FOCALIZADOS (FIB) (PA-SARA 2026/000030)

Contratación del suministro de un microscopio electrónico de doble haz con detector EBSD y sistemas de nanolitografía electrónica (EBL) y de iones focalizados (FIB) para la Unidad de Nanotecnología de los Servicios Científico-Técnicos de la Universidad de Oviedo. El objeto es dotar a dicha unidad de equipamiento científico-técnico avanzado para la realización de nanolitografía, preparación de lamelas para microscopía electrónica de transmisión, nanotomografía, estudios detallados de composición y estructura cristalina, e inspección de muestras.

El contrato define las características técnicas del equipamiento, centrándose en un microscopio electrónico de barrido de doble columna (electrones e iones) con capacidad para nanolitografías EBL y FIB.

**Características principales del equipo principal (microscopio de doble columna):

• Columna de haz de electrones: Fuente de emisión de campo Schottky, voltaje de aceleración de 200 V a 30 kV, corrientes de haz de 2 pA a 300 nA, resolución de 1 nm a 30 kV y 1,5 nm a 1 kV.
• Columna de haz de iones: Óptica de haz de iones focalizados con fuente de galio líquido, vida de fuente de 1000 horas o superior, voltaje de aceleración de 500 V a 30 kV, corrientes de haz de 1,5 pA a 60 nA, resolución de 3 nm.
• Plataforma del portamuestras: Movimiento motorizado en 5 ejes (x-y-z, rotación e inclinació...

El contrato se iniciará el día siguiente a su formalización.

El plazo máximo de ejecución, incluyendo entrega, instalación y puesta en marcha, finalizará el 1 de diciembre. La recepción definitiva y facturación deberán concluir antes del 15 de diciembre.

Planta Sótano 2, Edificio Severo Ochoa, Unidad de Nanotecnología, Campus de "El Cristo", C/ Fernando Bongeras s/n, 33006 Oviedo – Asturias. (Provincia: Asturias)