SUMINISTRO INSTALACION Y PUESTA EN FUNCIONAMIENTO DE UN EQUIPO ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY TOOL UP TO 8-INCH WAFERS (UPV04) Y UN EQUIPO SEM (UPV13) PARA LA PILOT LINE DE LA UPV (MY26/ITEAM/S/55)

Suministro, instalación y puesta en funcionamiento de dos equipos de alta tecnología: un equipo de litografía por haz de electrones (Electron Beam Lithography tool) hasta 8 pulgadas (UPV04) y un equipo de microscopía electrónica de barrido (SEM) (UPV13). Estos equipos se destinarán a la Pilot Line de la Universitat Politècnica de València (UPV) para el desarrollo y despliegue de tecnologías de semiconductores de vanguardia, en el marco del proyecto PIXEurope y en línea con el Plan de Recuperación, Transformación y Resiliencia (PRTR) y el PERTE Chip.

El contrato abarca el suministro e instalación de un equipo de litografía por haz de electrones (UPV04) capaz de fabricar patrones con resolución nanométrica para nanofabricación, fotónica, semiconductores y nanotecnología, así como un equipo de microscopía electrónica de barrido (UPV13) para inspección de superficies con resolución nanométrica, análisis morfológico, de contraste superficial y de composición. Ambos equipos permitirán la coordinación entre la definición de parámetros de exposición y metrología SEM, asegurando trazabilidad y coherencia de datos en el flujo de fabricación.

Equipo UPV04 - Litografía por haz de electrones:

• Fuente de electrones: TFE / Schottky emitter o equivalente.
• Potencial de aceleración: Rangos de 40-60 kV y 100-120 kV.
• **Dinámica de corri...

A partir del 01/11/2026, tras la formalización del contrato.

El plazo total de ejecución del contrato se estima hasta el 01/06/2027. Se divide en tres fases:

1. Suministro, fabricación y Factory Acceptance Test (FAT): 18 meses para cada equipo (UPV04 y UPV13), a contar desde el 01/11/2026 o fecha posterior.
2. Envío y recepción de equipos e instalación: 1 mes para cada equipo, a contar desde la solicitud de envío.
3. On-Site Acceptance Test (SAT): 2 meses para cada equipo, a contar desde la comunicación de finalización de la instalación.

Planta de semiconductores, SUZI - 1, L'Eliana, Valencia, España. (Provincia: Valencia)