ICFO-2026-041 SUBMINISTRAMENT INSTAL*LACIO I POSADA EN FUNCIONAMENT D'UN "PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION SYSTEM" PER AL PILOT LINE PIXEUROPE DE L'ICFO. (ICFO-2026-041)

Contrato para el suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un sistema 'Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition' para la Línea Piloto PIXEurope del ICFO. El objeto del contrato se enmarca dentro de la categoría CPV 38000000-5: Equipos de laboratorio, ópticos y de precisión (excepto gafas).

El contrato tiene como objeto el suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un sistema de deposición de películas de alta calidad de SiO₂ y SiNₓ mediante Deposición Química de Vapor Mejorada por Plasma (PECVD).

Necesidades a satisfacer: El sistema se utilizará para la investigación y desarrollo en la Línea Piloto PIXEurope del ICFO, siendo crítico para la deposición a baja temperatura (entre 80 y 100ºC) con el fin de mantener las propiedades electrónicas y fotónicas de los materiales.

Aplicaciones principales:

• Fabricación de capas dieléctricas y de pasivación para dispositivos fotónicos.
• Desarrollo de pilas de película delgada multicapa.
• Investigación sobre el control de tensiones (stress) y la calidad de la interfaz en SiO₂ y SiNₓ.
• Pasivación superficial y enc...

No especificado explícitamente, pero el plazo de ejecución de 18 meses comenzará a contar desde la fecha de formalización del contrato.

18 meses a partir de la fecha de formalización del contrato.

Instalaciones del ICFO. (Provincia: Barcelona)