ICFO-2026-020 SUBMINISTRAMENT INSTAL*LACIO I POSADA EN FUNCIONAMENT D'UN 'MASKLESS ALIGNER' PER AL PILOT LINE PIXEUROPE DE L'ICFO. (ICFO-2026-020)
535.000,00 €
08/04/2026
11/05/2026 10:00 (Fecha superada)
Suministros
Publicado
Órgano de contratación
ICFO - INSTITUT DE CIENCIES FOTONIQUES
Lugar tipado
ES51 - Cataluña
Periodo de ejecución
CPV
Resumen
Objeto:
El contrato tiene por objeto el suministro, instalación, puesta en marcha y configuración de un sistema 'Maskless Aligner' (alineador sin máscara) para la línea piloto PIXEurope en el ICFO. Este equipo se utilizará en el laboratorio del ICFO para realizar exposiciones fotolitográficas directamente desde un diseño informático, sin necesidad de máscaras de cromo, permitiendo escribir características de micras a alta velocidad en obleas de hasta 200 mm. También permitirá la alineación de superposición con precisión de hasta 1 micrón para exposiciones múltiples y alineación posterior.
Características:
El contrato incluye los siguientes requisitos técnicos esenciales:
- Fuentes de luz:
- Fuente UV con longitud de onda de emisión en el rango de 266 a 405 nm, compatible con la mayoría de los procesos de fotolitografía.
- Capacidad para exponer resistes positivos y negativos comunes, incluyendo SU-8 y AZ-nLOF.
- Potencia de salida de la fuente de luz mayor a 2W.
- Sistema para revertir resistes como AZ5214.
- Vida útil de las fuentes de luz de al menos 10,000 horas.
- Control ambiental, etapa y tamaño de muestra:
- Cámara ambiental con sistema de pre-enfriamiento y filtro para proporcionar un entorno estable.
- Flujo de aire laminar dentro de la cámara ambiental.
- Estabilidad de temperatura garantizada ±0.1 °C.
- Calidad de...
Criterios de evaluación:
Solvencia económica:
Solvencia técnica:
Medios materiales:
Medios personales:
Fecha de inicio:
No se especifica la fecha exacta de inicio, pero se indica que la entrega del equipo debe realizarse dentro de los 8 meses posteriores a la adjudicación del contrato.
Duración:
El plazo de ejecución del contrato, definido como el tiempo de entrega e instalación del sistema, es de 8 meses a partir de la fecha indicada en el documento de formalización del contrato o desde la fecha de formalización si no se indica una fecha de inicio concreta.
Lugar de ejecución:
El suministro e instalación se realizarán en las instalaciones del ICFO (Institut de Ciències Fotòniques) en Castelldefels. (Provincia: Barcelona)
Contradicciones y puntos débiles de los requisitos:
Consideraciones importantes:
