SUMINISTRO E INSTALACION DE UN EQUIPO DE LITOGRAFIA OPTICA DE PROYECCION EN EL ULTRAVIOLETA PROFUNDO DESTINADO AL INSTITUTO DE MICROELECTRONICA DE BARCELONA DE LA AGENCIA ESTATAL CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS. (35250/26)

El objeto del contrato es el suministro e instalación de un equipo de litografía óptica de proyección en el ultravioleta profundo (DUV). Este equipo se destina al Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM) de la Agencia Estatal Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC). El suministro incluye la distribución, montaje, instalación y puesta en marcha del equipo, así como la formación del personal técnico. El contrato está financiado por la Unión Europea a través del Mecanismo de Recuperación y Resiliencia (NextGenerationEU) y se enmarca en el proyecto PIXEurope y el PERTE Chip.

El contrato abarca el suministro e instalación de un equipo de litografía óptica de proyección en el ultravioleta profundo (DUV) con una longitud de onda de 248 nm, financiado por la Unión Europea.

Especificaciones técnicas principales del equipo:

• Unidad de exposición:
  • Altura inferior a 3,10 m.
  • Compatibilidad con obleas de 4" (100 mm) y 6" (150 mm).
  • Comunicación con consola, láser, cabina de electrónica y cabina de control de C&T.
  • Longitud de onda de 248 nm (láser KrF).
  • Apertura numérica: 0,50 – 0,80.
  • Resolución: por debajo de 0,120 µm (<120 nm), con variación de tamaño < 5 nm.
  • Campo de exposición del retículo: mínimo 22 mm x 22 mm.
  • Profundidad de foco: ≥ 0.5 µm.
  • Repetitividad del posicionamiento: ≤ 15 nm...

El plazo de ejecución del contrato comenzará al día siguiente de la formalización del mismo.

El plazo de ejecución del contrato es de 24 meses, prorrogable. Se divide en 5 fases con plazos específicos:

• Fase 1 (Diseño y planos de solución intercambio sustratos): 3 meses.
• Fase 2 (Entrega y aceptación módulo láser): 6 meses.
• Fase 3 (Aceptación en fábrica): 18 meses.
• Fase 4 (Entrega en IMB-CNM): 19 meses.
• Fase 5 (Instalación en Sala Blanca IMB-CNM): 24 meses.

Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM), Sala Blanca, C/ Til·lers, s/n, Campus Universitat Autònoma de Barcelona, 08193 Cerdanyola del Vallès (Bellaterra), Barcelona, España. (Provincia: Sin datos. La provincia no se menciona explícitamente en los documentos y no se puede deducir de forma inequívoca.)