SUMINISTRO E INSTALACION DE UN SISTEMA COMBINADO DE PULVERIZACION CATODICA Y EVAPORACION POR HAZ DE ELECTRONES PARA DEPOSICION DE CAPAS DELGADAS DESTINADO AL INSTITUTO DE CIENCIA DE MATERIALES DE MADRID DE LA AGENCIA ESTATAL CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS. (35072/26)
Datos generales
180.000,00 €
29/5/2026
Suministros
En evaluación
Órgano de contratación
SECRETARIA GENERAL DE LA AGENCIA ESTATAL CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS
Lugar
Calle Serrano 117 Madrid
Lugar tipado
ES300 - Madrid
Periodo de ejecución
CPV
Documentación adicional
Documentación adicional |
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Resumen
Objeto:
Suministro e instalación de un sistema combinado de pulverización catódica y evaporación por haz de electrones para la deposición de capas delgadas.
Características:
El contrato abarca el suministro e instalación de un sistema de deposición física en fase vapor (PVD) de alto vacío, modular, que permita realizar deposiciones por pulverización catódica (sputtering) y evaporación por haz de electrones (e-beam) de forma independiente, sucesiva o combinada, sin necesidad de ventear entre procesos. El sistema debe ser completamente nuevo y adecuado para investigación avanzada en ciencia de materiales y nanofabricación.
Especificaciones Técnicas Clave:
- Configuración: Arquitectura modular para incorporar, sustituir o reubicar fuentes de deposición y herramientas sin asistencia técnica externa. Cámara de vacío modular con paneles intercambiables.
- Técnicas de deposición: Capacidad para al menos dos fuentes de sputtering (DC y RF, 2 pulgadas...
Criterios de evaluación:
Solvencia económica:
Solvencia técnica:
Medios materiales:
Medios personales:
Fecha de inicio:
20 de abril de 2026
Duración:
6 meses, desde el día siguiente a la formalización del contrato.
Lugar de ejecución:
Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid, C/ Sor Juana Inés de la Cruz, 3, Cantoblanco, 28049, Madrid, España. (Provincia: Madrid)
Contradicciones y puntos débiles de los requisitos:
Consideraciones importantes:
