SUMINISTRO E INSTALACION DE UN EQUIPO DE FOTOLITOGRAFIA SIN MASCARA CON FUENTE UV COMPATIBLE CON FOTORRESINAS I-LINE (≈ 365 NM) (2026/T00028)

Suministro e instalación de un equipo de fotolitografía sin máscara, con fuente UV compatible con fotorresinas i-line (≈ 365 nm). El equipo está destinado a dotar la infraestructura de investigación de la Universidad de Valladolid.

El contrato abarca el suministro, la instalación y la puesta en marcha de un sistema de litografía óptica sin máscara con resolución micrométrica y compatibilidad con fotorresinas i-line (365 nm). Las características técnicas clave incluyen:

• Resolución mínima de escritura: ≤ 1 µm.
• Resolución de posicionamiento de la etapa: ≤ 20 nm.
• Fuente de radiación UV: 365 nm (i-line), con control de dosis y repetibilidad garantizados por software. Potencia suficiente para procesar fotorresinas i-line y uniformidad documentada.
• Compatibilidad con resinas: Compatible con fotorresinas i-line (365 nm), incluyendo resinas epoxi negativas (ej. SU-8, KMPR) y positivas. Capacidad para procesar capas de resina de al menos 10 µm de espesor manteniendo resolución micrométrica, acreditado ...

Sin datos

Dieciocho semanas, contadas desde el día siguiente a la firma del contrato.

Departamento de Teoría de la Señal y Comunicaciones e Ingeniería Telemática (GIR de Fotónica, Información Cuántica y Radiación y Disposición de Ondas Electromagnéticas-GFOR), Edificio de Tecnologías de la Información y de las Comunicaciones, Laboratorio 2L021. Campus Miguel Delibes, 47011 Valladolid. (Provincia: Valladolid)